
01、霍爾式傳感器的工作原理
1●霍爾效應
霍爾式傳感器的物理基礎是霍爾效應。如圖1所示,在一塊長度為l、寬度為b、厚度為d的長方體導電板上,左、右、前、后側面都安裝上電極。在長度方向上通入電流I,在厚度方向施加磁感應強度為B的磁場。

■ 圖1 霍爾效應示意圖
導電板中的自由電子沿電流反方向作定向移動,平均速度為v。在磁場的作用下,電子受到洛倫茲力的作用。每個電子受到洛倫茲力fL的大小為

其中,e是一個電子的電荷量,e=1.6×10-19C。根據左手定則,可以判斷出洛倫茲力fL的方向由外向里。
電子除了作定向移動外,還在洛倫茲力的作用下向里飄移,結果在導電板的里表面積累了電子,在外表面積累了正電荷,這樣,導電板中就形成了附加電場EH,稱為霍爾電場。
在霍爾電場的作用下,電子將受到一個與洛侖茲力方向相反的電場力

的作用,這個力阻止電荷的繼續(xù)積聚。當導電板中電子積累達到動態(tài)平衡時,電荷不再增加,電子所受的洛侖茲力和電場力大小相等,即

化簡得

這時,在導電板的外表面與里表面就產生電勢差,大小為

把公式帶入得:

當載流導體或半導體處在與電流垂直的磁場時,在其與電流方向、磁場方向都垂直的兩端將產生電位差,這一現(xiàn)象稱為霍爾效應,霍爾效應產生的電動勢稱為霍爾電動勢,長方體導電板稱為霍爾片。霍爾效應是運動電荷受磁場中洛倫茲力作用的結果,基于霍爾效應的傳感器稱為霍爾式傳感器。
由以上公式可見,霍爾電動勢UH與磁感應強度B成線性關系,因此,通過測量UH可以得到B。這就是霍爾傳感器的工作原理。
1879年,美國物理學家霍爾(Edwin H. Hall,1855-1938)在研究金屬導電機制時發(fā)現(xiàn)了霍爾效應,但是,由于金屬材料的霍爾效應太弱,霍爾效應沒有得到應用。隨著半導體技術、材料科學和電子技術的發(fā)展,使用半導體材料制作的霍爾片具有明顯的霍爾效應,并且出現(xiàn)了高強度的恒定磁體以及工作于小電壓輸出的信號調節(jié)電路,霍爾式傳感器迅速發(fā)展起來了?;魻柺絺鞲衅饔糜跍y量電磁、電力、加速度、振動等物理量,應用非常廣泛。例如,汽車上就使用了多種霍爾式傳感器。
2●霍爾靈敏度
設導電板中自由電子濃度為n,電子定向運動的平均速度為v,則電流的大小為

霍爾片在單位控制電流和單位磁感應強度時產生的霍爾電動勢,稱為霍爾靈敏度,記為KH,即

代入公式,得

從公式可見,霍爾靈敏度與霍爾片的厚度d成反比,因此,常把霍爾片做成薄片狀,其厚度一般為0.1~0.2mm。另外,霍爾靈敏度還與自由電子濃度n成反比。因為金屬的自由電子濃度過高,所以,金屬不適合用于制作霍爾片。
在使用霍爾傳感器進行測量時,常用恒壓源提供激勵電流,電源電壓是一個常量,U=El。設霍爾片材料的遷移率為μ,則電子在電場中的平均遷移速度為v=μE,從而有

結合以上公式可得:

從以上公式可見,霍爾靈敏度與載流子的遷移率μ成正比。因為電子遷移率遠大于空穴,所以,常用N型半導體材料制作霍爾片。
3●霍爾元件
霍爾元件的結構如圖2所示,由霍爾片、4根引線和殼體組成。在霍爾片長度方向的兩側焊有兩根控制電流引線“輸入1”和“輸入2”,它們在薄片上的焊點稱為激勵電極。在霍爾片寬度方向的兩側焊有兩根輸出引線“輸出1”和“輸出2”,它們在薄片上的焊點稱為霍爾電極。霍爾元件的殼體用非導磁金屬、陶瓷或環(huán)氧樹脂封裝而成。

■ 圖2 霍爾元件的結構
霍爾元件的外形和符號如圖3所示,其中,a、b是激勵電極,c、d是霍爾電極。

■ 圖3 霍爾元件的外形和符號
4●霍爾元件的基本特性
(1)輸出特性
某些霍爾元件在恒流源的驅動下,其霍爾電動勢UH與磁感應強度B成線性關系,輸出為模擬量,如圖4(1)所示。具有線性特性的霍爾元件稱為霍爾線性器件。磁通計中的傳感器大多采用具有線性特性的霍爾元件。
有些霍爾元件在恒壓源的驅動下,其霍爾電動勢UH在一定區(qū)域內隨B的增加迅速增加,如圖4(2)所示。通過數(shù)據處理,可以使輸出轉化為數(shù)字量,使其具有開關特性,相應的霍爾元件稱為霍爾開關器件。開關特性隨磁體本身材料及形狀的不同而不同,低磁場時,磁通飽和。對直流無刷電動機的控制,一般采用霍爾開關器件。

(1)恒流源驅動 (2)恒壓源驅動
■ 圖4 霍爾元件的輸出特性
(2)負載特性
前面敘述的霍爾電動勢的線性特性,是在霍爾電極之間為開路,或測量儀表阻抗為無窮大的情況下得到的。當霍爾電極之間接有負載時,就有電流流過內阻,從而產生壓降,因此,實際的霍爾電動勢將比理論值略小。
(3)不等位電動勢
以上公式可以改寫為

從公式可見,當未加磁場時,霍爾電動勢UH應該為0。但是,在實際使用中,由于霍爾電極安裝位置不對稱或不在同一個等電位上,半導體材料不均勻造成電阻率不均勻,霍爾片幾何尺寸不對稱,或者激勵電極接觸不良造成激勵電流分配不均勻等原因,霍爾元件存在一定的輸出電壓,稱為不等位電動勢。
(4)溫度特性
半導體材料受溫度影響比較大,因此,用半導體材料制成的霍爾元件也會受溫度的影響。溫度將影響霍爾元件的霍爾電動勢、霍爾靈敏度、輸入阻抗和輸出阻抗等參數(shù)。
5●霍爾元件的誤差補償
(1)不等位電動勢的補償
不等位電動勢與霍爾電動勢具有相同的數(shù)量級,有時甚至超過霍爾電動勢,因此,必須采取措施進行消除。不等位電動勢的補償電路如圖5所示。

(1)不對稱補償 (2)對稱補償
■ 圖5 不等位電動勢的補償電路
霍爾元件可以等效為一個四臂電橋,當存在不等位電動勢時,說明電橋不平衡,四個電阻值不相等。為了使電橋平衡,可以采用兩種補償方法。第一種方法是在電橋阻值較大的橋臂上并聯(lián)電阻,稱為不對稱補償,這種方法比較簡單。第二種方法是在電橋兩個橋臂上同時并聯(lián)電阻,稱為對稱補償,補償后的溫度穩(wěn)定性較好。
采用補償電阻的方法來消除霍爾元件的不等位電勢,補償電路比較簡單,但是,這種方法會影響霍爾元件的霍爾靈敏度和精度。
(2)溫度誤差補償
溫度變化會引起霍爾元件輸入電阻的變化,從而引起激勵電流的變化,結果導致霍爾電動勢的變化。如果采用恒流源作為激勵電流,可以減小溫度誤差。但是,溫度變化也會引起霍爾靈敏度的變化。當溫度發(fā)生變化時,霍爾靈敏度與溫度變化的關系為

其中,KH0為溫度T0時的靈敏度,ΔT=T-T0為溫度的增量,γ為霍爾靈敏度的溫度系數(shù)。此時,霍爾電壓將變?yōu)?/p>

當溫度發(fā)生變化時,磁場強度不隨溫度的變化而變化。因此,為了保持UH不變,可以適當減小激勵電流I的值。為此,在霍爾元件的輸入回路中并聯(lián)一個電阻,起到分流的作用。溫度誤差的補償電路如圖6所示。

■ 圖6 溫度誤差的補償電路
補償電阻值的計算公式為文章來源:http://www.zghlxwxcb.cn/news/detail-454477.html

其中,α是UH的溫度系數(shù),β是電阻溫度系數(shù),RIN是霍爾元件的輸入電阻。對于一種型號的霍爾元件,可以通過技術手冊,從其參數(shù)表中查出α、β和RIN的值。文章來源地址http://www.zghlxwxcb.cn/news/detail-454477.html
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